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等離子凈化設(shè)備是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，以達(dá)到降解污染物的目的的一種環(huán)保設(shè)備。

首先廢氣經(jīng)均流板過(guò)濾棉進(jìn)入設(shè)備時(shí)，由設(shè)備高壓穩(wěn)定高頻放電，瞬間產(chǎn)生1.5萬(wàn)伏特至2萬(wàn)伏特高壓，擊穿廢氣。此階段中，長(zhǎng)鏈、多鏈廢氣分子由于鍵能較弱，約束力較小。很容易被擊穿化學(xué)鍵破裂，從而變成小分子化合物，此為一階段凈化。

其次，隨廢氣進(jìn)入設(shè)備的水分子、氧分子被高壓擊穿斷裂，生成強(qiáng)氧化基團(tuán)羥基、臭氧分子等。這些強(qiáng)氧化基團(tuán)與廢氣分子充分接觸氧化，加快反應(yīng)進(jìn)程。整個(gè)反應(yīng)干凈，能量利用率高，凈化效率非常高。

等離子功能段可以激發(fā)污染物能量，促使長(zhǎng)鏈、多鏈污染物分子的分子鍵斷裂重組，使難處理的污染物降解為較易處理的低碳污染物。

電子先從電場(chǎng)獲得能量，通過(guò)激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到污染物分子中去，那些獲得能量的污染物分子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離，從而成為活性基團(tuán)。然后這些活性基團(tuán)與氧氣、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。

另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強(qiáng)的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子。這類負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。

（1）介質(zhì)阻擋放電產(chǎn)生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；

（2）反應(yīng)快，不受氣速限制；

（3）采用防腐蝕材料，電*與廢氣不直接接觸，根本上解決了設(shè)備腐蝕問(wèn)題；

（4）只需用電，操作簡(jiǎn)單，無(wú)需派專職人員看守，基本不占用人工費(fèi)；

（5）設(shè)備啟動(dòng)、停止十分迅速，隨用隨開(kāi)，不受氣溫的影響；

（6）氣阻小，工藝成熟。

等離子凈化設(shè)備應(yīng)用于半導(dǎo)體、食品、新能源汽車、制藥、噴涂、印刷、涂料、電子等行業(yè)。